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;课堂纪律;情景1;情景2;情景3;培训的目的;培训内容;培训内容;PAT的定义;PAT与测试的区别;远离总体分布的零件称为Outliers;制程波动的两类原因:共同原因与特殊原因;小结:什么是PAT?;培训内容;执行PAT的好处 (一);执行PAT的好处 (二);执行PAT的好处 (三);培训内容;PAT的行业适用范围;PAT的产品适用范围;PAT的适用条件;优先选择哪些产品和参数来实施PAT?;培训内容;1. 实施PAT的前提条件;如何保证数据准确无误?;思考
TMTT站,样品特别小,无法编号,如何做GRR?;Sample #;一种GRR研究方法(无法编号,无法固定顺序);31 of 59;;思考:;思考:;NDC的含义 (Number of Distinct;为什么 NDC = 5?;为什么要Cp2?;为什么要Cpk=1.67?;思考:为什么制程参数的Cpk也要=1.67?;2. 怎样设定合适的PAT界限?
静态PAT和动态PAT
PAT规格限的计算;41 of 59;42 of 59;静态与动态是相对的;;为什么要用鲁棒均值和鲁棒标准差?;;为什么是1.35?;假设均值差异不大,PAT规格限主要由sigma决定
静态PAT所用数据时间跨度大,sigma会大于动态
因此,理论上,静态PAT规格限会比动态PAT规格限宽松。;思考: 有没有可能出现动态PAT规格限比静态PAT 规格限还宽松的状况?如果出现,怎么办?如何从 流程上预防此类情况发生?;OIMS流程图(来自JESD50C-2018Jan.);一个数据模拟的实例:;小结:实施PAT的流程;培训内容;培训内容;小测验;课程总结;;;通常做法;——From AEC - Q002
SYL: Statistical Yield Limit, 统计良率控制限
SBL: Statistical Bin Limit, 统计良率损失控制限;SYL 和 SBL;数据量
良率:指一批的良率,可以是一片wafer,一个wafer批或者一个封装批
如果针对单片wafer,至少要6个wafer lot,共150片(即:150个数据点)
如果针对wafer批或封装批,至少30批,建议50批以上(即:50个数据点)
注意:
每个产品分开计算SYL和SBL,哪怕是同一产品系列,也不建议混合在一起计算。;SYL和SBL需要定期评审;思考
如果良率或良率损失不服从状态分布,怎么设定控制限?
提示:
数学变换
其它非统计方法
暂时放宽控制限:如5sigma,6sigma等等;怎样检验SYL和SBL设置是否合理?;SYL和SBL的实施;PATSYL/SBL项目实施纲要;
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