一种大批量的真空镀膜基片清洗装置.pdfVIP

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2023-02-28 发布于四川
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一种大批量的真空镀膜基片清洗装置.pdf

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一种大批量的真空镀膜基片清洗装置，包括超声波清洗箱、升降驱动装置和基片清洗夹具；基片清洗夹具包括清洗上板、清洗中板和清洗下板，所述清洗上板、清洗中板和清洗下板按照由上至下的顺序依次设置，清洗中板的每个“田”字格区域内均设有一组清洗槽，一组清洗槽之间设有连接通道，一组清洗槽呈蜂窝状设置，所述清洗槽内可设置基片。本实用新型的清洗夹具解决了基片分散式清洗不便的问题，使基片在清洗时也可做到规律排列、方便计数，中板设计的清洗槽彼此之间相互连通且呈蜂窝状排列，可使清洗剂更加充分地与基片接触，改善清洗效果，基

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213001539 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202021881426.X (22)申请日 2020.09.02 (73)专利权人镇江晶鼎光电科技有限公司