《半导体平面工艺实验》课程教学大纲（模板）.docxVIP

《半导体平面工艺实验》课程教学大纲 课程简介 课程中文名 半导体平面工艺实验 课程英文名 Experiments of Semiconductor Planar Processes 课程代码 083P26A 课程学分 1 总学时数 34 课程类别 □通识课程 □学科基础课□专业课 ?实验实践课□其他 课程性质 □必修 ?选修 □其他 课程形态 □线上 ?线下 □线上线下混合 □其他 考核方式 □闭卷 □开卷 □一页开卷 □面试 □口试 □答辩 □论文 ?报告 □大型作业 □课程作品 □其他 开课学院 物理科学与技术学院 开课基层教学组织 微电子系 面向专业 微电子科学与工程等 开课学期 3.2学期 课程负责人 审核人 先修课程 集成电路工艺原理、模拟电路与实验，数字电路与实验，半导体物理与器件 后续课程 无 课程网址 无 课程简介 本课程具有较强的实践指导意义。通过一系列的集成电路工艺实验教学环节，培养学生独立完成集成电路制造、半导体工艺参数测试分析等方面的实践动手能力，巩固和强化现代微电子技术相关知识，充分掌握集成电路芯片的制造过程，提升学生在微电子技术领域的竞争力，培养学生灵活运用理论知识解决实际问题的能力，锻炼学生分析、探讨和总结实验结果的能力，为以后从事集成电路制造工作打下扎实的理论和实践基础。 （英文） 课程目标 《半导体平面工艺实验》的课程内容设置，对实验课课堂教学中的理论和实际教学方法进行了探讨，引导学生以科技论文形式完成专业实验课实验报告的创新教学思路。平面工艺是制造半导体器件合集成电路的主要方法，它对半导体器件迅速取代较老的电子学元件，并深入到电子学应用的崭新领域做出了重要贡献。同时，引导学生树立投身科学研究和技术创新的远大理想，激发学生强烈的使命感和责任心。 表1 课程目标 序号 具体课程目标 课程目标1 随着集成电路产业高速发展，对人才的需求也不断增加，既需要高水平的IC设计人员，也需要从事一线生产的IC制造专业技术人才。本课程有助于培养技能型应用人才，引导学生树立投身科学研究和技术创新的远大理想，激发学生强烈的使命感和责任心。 课程目标2 掌握集成电路的制造原理和制造过程，并会用相应的仪器设备进行某些工艺步骤的操作和半导体工艺参数的测试分析。 课程目标3 能针对当前业界使用的最先进微电子工艺的特定需求，完成相应设计与实现。 课程目标4 能够基于科学原理，通过设计实验、分析和解释实验数据，明确微电子制备工艺过程中的问题所在，并通过信息综合提出合理有效的解决方案。 课程目标5 通过亲自动手操作提高理论与实践相结合的能力，提高理论学习的主动性。开设本课程的目的是培养学生实事求是、严谨的科学作风，培养学生的实际动手能力，提高实验技能。 课程目标6 能够设计实验方案，并获取实验数据，具备对实验结果进行分析、推导出有效结论的能力。 课程目标与毕业要求对应关系 本课程的课程目标对毕业要求指标点的支撑情况如表2所示： 表2 课程目标与毕业要求对应关系 毕业要求 指标点 课程目标 毕业要求3：研发解决方案 3-1 能针对当前业界使用的最先进微电子工艺的特定需求，完成相应设计与实现。 3 毕业要求4：科学研究 4-1. 能够基于科学原理，通过设计实验、分析和解释实验数据，明确微电子制备工艺过程中的问题所在，并通过信息综合提出合理有效的解决方案。 1, 2，4，5 4-2能够基于科学原理，研究微电子元器件的工作机制与设计规则，包括设计实验、确定器件制备工艺流程、测试与分析实验数据、并能够通过信息综合得到合理有效的结论。 1，2，4 毕业要求6：专业和社会 6-1 了解微电子科学与工程专业相关的历史和文化背景，熟悉本专业领域相关的技术标准、知识产权和法律法规。 2, 3 6-2 能够正确认识微电子技术和客观世界的相互关系和相互影响，能分析和评价微电子相关专业工程实践，及新产品、新技术的开发和应用对社会、健康、安全、法律以及文化的影响，并理解应承担的责任。 1，2，3，5 毕业要求7：环境和可持续发展 7-1. 理解微电子技术的实施和运行对生态环境的影响，能充分考虑微电子工程实践与环境保护的冲突问题。 1，2，5,6 7-2. 能正确评估复杂微电子工程问题的工程实践对社会可持续发展的影响。 课程目标与教学内容和方法的对应关系 每个设计项目的学时数和类型如表3所示： 表3 项目及学时分配 序号 项目名称 学时数 项目类别 项目类型 要求 每组人数 理论学时 实践学时 课外学时 1 光刻实验 1 4 ≥2 专业 综合性 必做 3 2 硅的热氧化实验 1 3 ≥2 专业 综合性 必做 4 3 扩散实验 1 3 ≥2 专业 综合性 必做 4 4 半导体薄膜的制备与分析 1 4 ≥2 专业 设计研究 必做