无尘车间标准等级的划分.docxVIP

---------宋停云与您分享---------- ---------宋停云与您分享---------- 无尘车间标准等级的划分 无尘车间标准等级的划分 ---------宋停云与您分享---------- ---------宋停云与您分享---------- 无尘车间的等级说明 首先是无尘车间标准等级定义如下： Class X (at Y μ m ) 其中 X 是无尘车间的等级，例如 100 或 10000 等等， Y 是粒径如 0.2 μm , 0.5 μm 等，可复选。意思就是使用者规定，该无尘室微粒含量，在这些粒径必须满足该 等级的限度。以下是几个例子： Class1 (0.1 μ m, 0.2 μ m , 0.5 μ m) Class 100(0.2 μ m , 0.5 μ m ) Class 100(0.1 μ m, 0.2 μ m , 0.5 μ m ) 在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100 ，1000 ，10000....) ，一般看一个粒径即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10 ，1.... ) ，一般要看多几个粒径。 第二个是规定无尘车间的状态，例如： Class X (at Y μ，mAt)-rest 第三个是自订微粒浓度上限，一般在 As-built 时无尘车间都很干净，微粒控制能力测试不易，这时可以干脆把验收上限压低，例如： Class 10000 (0.3 μ m = 10000) ，As-built Class 10000 (0.5 μ m = ，1000)As-built 这样做的目的是确保无尘车间在 Operational 状态时，依然有足够的微粒控制能力。 ---------宋停云与您分享---------- ---------宋停云与您分享---------- 以下两个表是 Fed-Std-209E 的等级定义，和 ISO-14644 的等级定义 。 Fed-Std-209E 洁净度定义 Class Limits ---------宋停云与您分享---------- ---------宋停云与您分享---------- Class Name μ m μ m 0.3 μ m 0.5 μ m 5μ m ---------宋停云与您分享---------- ---------宋停云与您分享---------- Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units Volume Units SI U.S. (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) M 1 350 9.91 75.7 2.14 30.9 0.875 10.0 0.283 - - M 1.5 1 1,240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3 1.00 - - M 2 3,500 99.1 757 21.4 309 8.75 100 2.83 - - M 2.5 10 12,400 350 2,650 75.0 1,060 30.0 353 10.0 - - M 3 35,000 991 7,570 214 3,090 87.5 1,000 28.3 - - M 3.5 100 - - 26,500 750 10,600 300 3,530 100 - - M 4 - - 75,700 2140 30,900 875 10,000 283 - - M 4.5 1,000 - - - - - - 35,300 1,000 247 7.00 M 5 - - - - - - 100,000 2,830 618 17.5 M 5.5 10,000 - - - - - - 353,000 10,000 2,470 70.0 M 6 - - - - - - 1,000,000 28,300 6,180 175 M 6.5 100,000 - - - - - - 3,530,000 100,000 24,700 700 M 7 - - - - - - 10,000,000 283,000 61,800 1,750 ISO-14644 洁净度定义 ---------宋停云与您分享---------- ---------宋停云与您分享---------- ISO classification number(N) Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the cons