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ESD点检表 表号: 版次: V1.0
密级度:□机密 þ 保密 页码: 1of1
日期:
表面电阻(Ω) 泄漏电阻(Ω) 静电压(V) 频率 测试仪器 检测标准
地面 半年一次 静电压表,万用表和兆欧表 200V ,1×104Ω ~ 109Ω
接地线 每周一次 万用表和接地电阻测试仪 <4Ω
静电服 半年一次 兆欧表和静电电压表 200V ,1*106~1*109Ω
静电帽 半年一次 兆欧表和静电电压表 200V ,5*105—5*107 Ω
静电手套 每天一次 兆欧表和静电电压表 200V ,5*105—5*107 Ω
静电环 每天二次 兆欧表 泄漏电阻为1×106Ω±10%
防静电容器 半年一次 兆欧表 表面电阻1012Ω
防静电台垫 半年一次 兆欧表 表面电阻:1×105Ω ~1×109Ω
防静电椅 半年一次 兆欧表 接地电阻≤1×109Ω
工作台 半年一次 兆欧表 表面电阻:1×106Ω ~1×109Ω
流水线自动传送带 半年一次 兆欧表 表面电阻:1×106Ω ~1×109Ω
烙铁 每月一次 烙铁头接地电阻<20Ω,手柄绝缘电阻1×107~1×108Ω
离子风枪 每月一次 静电消除器检测仪(TREK 156K) 离子平衡电压为+/-15V
制表: 审核: 批准:
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