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泓域咨询/吕梁机械设备项目可行性研究报告
吕梁机械设备项目
可行性研究报告
xx有限责任公司
目录 TOC \o 1-3 \h \z \u
第一章 项目背景及必要性 8
一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术 8
二、 原子层刻蚀为未来技术发展方向 9
三、 离子束刻蚀 12
四、 “六新”突破抢先机 13
五、 聚焦转型出雏型起好步，实施百千亿产业培育工程 13
第二章 总论 17
一、 项目名称及建设性质 17
二、 项目承办单位 17
三、 项目定位及建设理由 18
四、 报告编制说明 19
五、 项目建设选
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