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泓域咨询/大同关于成立机械设备公司可行性报告
大同关于成立机械设备公司
可行性报告
xxx投资管理公司
报告说明
随着当前先进芯片关键尺寸的不断减小以及FinFET与3DNAND等三维结构的出现，不同尺寸的结构在刻蚀中的速率差异将影响刻蚀速率，对于高深宽比的图形窗口来说，化学刻蚀剂难以进入，反应生成物难以排出。另外，薄膜堆栈一般由多层材料组成，不同材料的刻蚀速率不同，很多刻蚀工艺都要求具有极高的选择比。第三个问题在于当达到期望深度之后，等离子体中的高能离子可能会导致硅片表面粗糙或底层材料损伤。
xxx投资管理公司主要由xxx有限责任公司和xx集团有限公司共同出资成立。其中：xxx有
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