宣城机械设备项目可行性研究报告（参考范文）.docx

泓域咨询/宣城机械设备项目可行性研究报告  宣城机械设备项目 可行性研究报告 xxx集团有限公司  报告说明 电子回旋加速震荡（ECR）反应器是最早商用化的高密度等离子体反应器之一，它是1984年前后日本日立公司最早研究的，第一次使用是在20世纪80年代初。它在现代硅片制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸图形的刻蚀。ECR反应器的一个关键是磁场平行于反应剂的流动方向，这使自由电子由于磁力作用做螺旋形运动。增加了电子碰撞的可能性，从而产生高密度的等离子体。优点在于能产生高的各向异性刻蚀图形，缺点是设备复杂度较高。 根据谨慎财务估算，项目总投资37450.16万元，其中：建设投资28864