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泓域咨询/廊坊机械设备项目可行性研究报告
廊坊机械设备项目
可行性研究报告
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第一章 项目建设背景及必要性分析 9
一、 等离子体刻蚀面临的问题 9
二、 反应离子刻蚀 9
三、 高密度等离子体刻蚀 10
四、 构建现代产业体系，促进经济高质量发展 11
五、 推动重点领域协同发展向纵深拓展 11
六、 项目实施的必要性 15
第二章 行业、市场分析 16
一、 离子束刻蚀 16
二、 原子层刻蚀为未来技术发展方向 16
三、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术
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