吉安机械设备项目可行性研究报告范文.docx

吉安机械设备项目可行性研究报告范文.docx

  1. 1、本文档共131页,其中可免费阅读40页,需付费1100金币后方可阅读剩余内容。
  2. 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
  3. 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
  4. 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
泓域咨询/吉安机械设备项目可行性研究报告 吉安机械设备项目 可行性研究报告 xx有限责任公司 报告说明 耦合等离子体刻蚀机包括电容耦合(CCP)与电感耦合(ICP),相比ECR结构简单且成本低。电容耦合等离子体刻蚀机(CCP)通过电容产生等离子体,而电感耦合等离子体刻蚀机(ICP)通过螺旋线圈产生等离子体。硅片基底为加装有低功率射频偏置发生器的电源电极,用来控制轰击硅片表面离子的能量,从而使得整个装置能够分离控制离子的能量与浓度。电容性等离子体刻蚀(CCP)主要是以高能离子在较硬的介质材料上,刻蚀高深宽比的深孔、深沟等微观结构;而电感性等离子体刻蚀(ICP)主要是以较低的离子能量和

文档评论(0)

泓域咨询 + 关注
官方认证
内容提供者

该用户很懒,什么也没介绍

认证主体泓域(重庆)企业管理有限公司
IP属地重庆
统一社会信用代码/组织机构代码
91500000MA608QFD4P

1亿VIP精品文档

相关文档