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为 客 户 创 造 价 值 为 客 户 创 造 价 值 DESCUM 分析报告 二零一六年二月 * DESCUM的原理及作用 1、原理： 半导体工艺中的一个环节就是将光罩上面的图形制作到相应的膜层上，而光阻用来定义下一步刻蚀中要刻掉与的部分，在对光阻进行光刻时包括两个步，一是爆光，二是显影，爆光即对光阻进行处理将要的地方或不要的光阻进行光处理使其容易与下一步的显影剂反应，而由于显影后图形边缘不可避免会有一些没有完全去掉的毛刺等，DESCUM就是将这些毛刺去掉，降低之后刻蚀出的图形的失真度。 2、作用： DESCUM后光刻胶表面是亲水性的，不做的光刻胶表面是疏水的，所以看起来DESCUM后表面态是有改变的，而这些改变对于湿法腐蚀来说是非常关键的，亲水性的表面态可以使药品更容易进入和离开刻蚀表面。 3、配置参数： 气体种类；气体流量；射频功率；腔体压力等 DESCUM在Cu Bump中的应用 * 生产Descum设备的公司 TEL：TEL-5000 Mattson：北京亦庄国投(E-Town)旗下北京屹唐盛龙半导体产业投资中心以3亿美元收购 Kostek：韩国品牌，新耕代理销售，在江阴长电装机14个chambers，2腔体机型售价70万美金，4腔体机型售价100万美金，包括真空泵、冰水机等配套设施。 南京奥威天长：中美合资，专注于descum二手设备翻新，并提供技术服务 韩国其它Descum ： ecolitr200 ICE300 * * 为 客 户 创 造 价 值 *
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