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实验报告:高真空的获得和检漏 84
张贺 P
一、实验题目:
高真空的获得和检漏
二、实验目的:
学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空,用静态升压法和氦质谱法检漏,并
对比两种方法的特点。
三、实验原理:
1 高真空的测量——电离真空规
具有足够能量的电子与气体 碰撞会引起 的电离.产生正离子和电
子,电子与 的碰撞次数正比于 数密度 n,即正比于总压强 p,故产
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