激光干涉仪用途.pdfVIP

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2021-12-04 发布于江苏
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激光干涉仪用途.pdf

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简介以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统 (见激光测长技术 )测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在 20 世纪 60 年代中期出现的 ,最初用于检定基准线纹尺 ,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是 1970 年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态