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第36卷第6期 东南大学学报(自然科学版) V01.36No.6
2006年“月 JOURNALOFSOUTHEAST Science Nov.2006
UNIVERSrrY(NattlralEdition)
CMoS工艺片上传输线研究
陈 勖 王志功 李智群
(东南大学射频与光电集成电路研究所,南京210096)
摘要:对深亚微米硅基cM0s工艺集成电路中常用的微带线和共面波导2种传输线结构进行了
CMOs工艺制作了特征阻抗分别
研究.从理论上分析了传输线分布参数和损耗,利用O.13“m
测试技术进行测试.利用分布参数电路模型和测试得到的S参数提取出了特征阻抗、衰减常数、
品质因数等传输线基本参数.研究结果为设计者选择和设计高性能传输线提供出可借鉴的实用
性模型.
关键词:cM0s工艺;微带线;共面波导;分布参数模型
中图分类号:TB971;TB973文献标识码:A
of transmissionlineinCMOS
Designon-chip process
ChenXuWaIlgZhigong“Zhiqun
of
(InstituteRF&OE—Ics,soutlleastuIliVersity,Nanjing210096,china)
characteristicsofmost used呦sIIlissionHnesin sub戚cronCMOS
Abstract:The commoIlly deep
aIld smdied.TheaIldmecalcula廿onoftlledis—
ICs,111icm—stripcoplanarwaveguide,werepfoperty
tributed aIldlossoftlleⅡansIIlissionlineswere The
par锄eters aIlalyzedtheoretically.IIlicr0一strip
to in
aIld libradeswithtlle 50QaIld70Qwere aIldfabricated
coplanarwaVeguide Z0equal designed
in of0.1—30GHz aVecto卜
CMOS weremeasured range using
0.13¨m process,and t11e骶quency
network was
analyzer.TheSOLT(short—open一10ad—thm)de-embeddingtechniqueutilized.Impor_
tant ofmetransIllission ascharacteristic
parameters lines,such impedance,attenuationconstant,and
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