氦质谱检漏仪使用说明剖析.pdf

氦质谱检漏仪使用说明书 资产编号： 型号： ZQJ-542 一、设备组成及工作原理 1、设备组成框图 双级旋片真空泵 加压罐 电阻真空计 氦气瓶 氦质谱检漏仪 重氟油粗检装置 检漏盒 检漏托盘 氦气喷抢 2、设备工作原理 检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体， 机械泵以及控制电路板等组成。 检漏仪的工作原理： 氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理， 用氦气作为 搜索气体制成的气密性检测仪器。 ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室， 钨制灯丝发射出来的电子 经过加速进入离化室， 在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进 入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子， 这些离子在加速电场作 用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（ m/e） 的离子其偏转半径不同， 这样就将不同的离子分离开了。 由于磁场参 数是固定的， 只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径， 使氦 离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子 （m/e=4）与其他离子分开了。 氦离子流正比于容器中氦分压。 因此， 对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。 二、设备工作外部条件 氦质谱检漏仪电源电压 220V 频率 50HZ 额定功率 2000W 。仪 器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插 座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有 30CM 的通风间距。 放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。 检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。 在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够， 机械泵油必 须用专用的针对机械泵型号的油。 三、设备工作外部条件接通操作 氦质谱检漏仪 图 1 检漏仪的机械泵有足够的机械泵油； 保证机体内分子泵、 机械泵、 真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。 检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。 加压罐压氦装置 图 2 加压罐压氦装置的外部接通顺序： 写出设备外部条件的接通先后 顺序，操作方法，具体的参数等。 1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。 2、检查加压罐的密封圈是否有损害， 加压罐进出阀门是否关闭不了； 真空泵是否有足够的泵油， 气镇阀旋钮是否处在关闭的位置； 氦气瓶 减压阀是否漏气现象。 3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。 重氟油粗检