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蚀刻用腐蚀液与配方比例
刻蚀基础(转载)
湿式蚀刻技术
最早的蚀刻技术是利用特定的溶液与薄
膜间所进行的化学反应来去除薄膜未被光阻覆
盖的部分, 而达到蚀刻的目的, 这种蚀刻方式也
就是所谓的湿式蚀刻。 因为湿式蚀刻是利用化学
反应来进行薄膜的去除, 而化学反应本身不具方
向性,因此湿式蚀刻过程为等向性, 一般而言此
方式不足以定义 3 微米以下的线宽,但对于
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