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加速度计和陀螺仪原理 MEMS 加速度计原理 技术成熟的 MEMS 加速度计分为三种 :压电式、容感式、热感式。压电式 MEMS 加速度计运用的是压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量块，有运 动的情况下质量块会产生压力，刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。 容感式 MEMS 加速度计内部也存在一个质量块，从单个单元来看，它是标 准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极 的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。 Freescale 的 MMA7660FC 这一款加速度计 (3-Axis Orientation/Motion Detection Sensor) ，这 一款芯片也是利用这一原理设计的。 datasheet 的第 9 页介绍了其工作原理：当 芯片有向右的加速度时，中间的活动质量快相对于另外两块电容板向左移动， 这两平行板电容器的电容就发生了变化，从而测量出芯片运动的加速度。 热感式 MEMS 加速度计内部没有任何质量块，它的中央有一个加热体，周 边是温度传感器，里面是密闭的气腔，工作时在加热体的作用下，气体在内部 形成一个热气团，热气团的比重和周围的冷气是有差异的，通过惯性热气团的 移动形成的热场变化让感应器感应到加速度值。 由于压电式 MEMS 加速度计内部有刚体支撑的存在，通常情况下，压电式 MEMS 加速度计只能感应到动态加速度，而不能感应到静态加速度，也就是我 们所说的重力加速度。而容感式和热感式既能感应动态加速度，又能感应静态 加速度。 从上面的分析中，我们可以看到利用容感式和热感式加速度计进行定向时， 加速度计测得的加速度里面包括重力加速度在各个轴上的重力分量和动态运动 引起的加速度分量。因而，我觉得我们在利用这一类加速度计进行定向时，必