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00059-薄膜分析技术.pdf
薄膜技术-11
薄膜分析技术
主要内容
薄膜厚度的测量
薄膜形貌和结构的表征
薄膜成分的分析
性能的测量
薄膜厚度的测量
SEM横截面观察
台阶法
石英晶体振荡器法
光学测量
其他
SEM横截面观察
TiN薄膜厚度测量
利用高分辨扫描电镜直接测量薄膜横截面
SEM横截面观察
特点:
台阶仪
直观
可直接测量真实的几何厚度
需要良好的导电性
薄膜厚度的测量
SEM横截面观察
台阶法
石英晶体振荡器法
光学测量
其他
台阶法
直径很小的触针滑过被测薄膜的表面,同时记
录下触针在垂直方向的移动情况并画出薄膜表
面轮廓.
台阶法
直径很小的触针滑过被测薄膜的表面,同时记
录下触针在垂直方向的移动情况并画出薄膜表
面轮廓.
台阶法
直径很小的触针滑过被测薄膜的表面,同时记
录下触针在垂直方向的移动情况并画出薄膜表
面轮廓.
台阶法
h
直径很小的触针滑过被测薄膜的表面,同时记
录下触针在垂直方向的移动情况并画出薄膜表
面轮廓.
台阶法
特点:
台阶仪
直观
可直接表示几何厚度与表面的不均匀
精度高
原子力显微镜(埃级), 台阶仪(纳米级)
校验其他膜厚测试方法的测试结果
台阶法
特点:
台阶仪
不适用软性膜
划出沟槽,产生误差
需事先制备带台阶的薄膜样品
只能测量制成的薄膜,不能实时监控
薄膜厚度的测量
SEM横截面观察
台阶法
石英晶体振荡器法
光学测量
其他
石英晶体振荡器法
石英振荡器
石英晶体振荡器法
石英片厚度的微小变
化Δh 导致固有频率
q
变化
h m
q
f f 0 f 0
h Ah
q 0 q
石英振荡器 Δm石英片的质量增加
Ρ 石英片密度
0
A 石英片的面积
石英晶体振荡器
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