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赛瑞达扩散炉维护专业培训
售后服务部:宋威运
2011.12.19
致金泰新能源设备保障部
●此文件详细描述了我公司扩散设备正确保养方法
以及设备人员在日常维护保养中需要特别注意的
事项,请详细阅读
●应贵公司要求,扩散炉在工艺完成后会自动关闭
炉门,这就对设备维护保养提出了更高的要求,
因此特别制作此保养作业指导文件,请维护人员
严格按照保养流程操作,切不可大意马虎以免造
成较大损失。
设备培训内容
●石英管正确安装
推拉舟例行保养
●源温控制器使用维护
设备维护保养注意要点
常见工艺异常处理
石英管正确安装(一)
安装,拆卸石英管时需注意以下几点:
●石英制品是易碎品,要注意轻拿轻放
●为防止污染,清洗后的石英管要立即使用缠绕膜
封口
为防止污染,操作时要戴无尘手套。
●完成此项工作至少需要3人。
石英管正确拆卸(一)
因金泰设备石英管已经
安装完成,就先从如何正
确拆卸石英管讲起
●设备人员接到工艺人员
通知清洗石英管后,需悬
挂相关标识,表示此管暂
炉体降温,拆卸SC桨。
加热炉的温度已冷却到
室温后,取下前门板,小
废气室
石英管正确拆卸(一)
●拆卸废液瓶,清理存积
的偏磷酸
●抽取尾气管,断开内控
温热电偶的导线连接
抽取内控温热电偶与
TC管
拆卸不锈钢挡板及堵头
●从炉口塞入工艺垫板,
抽出石英管。
随后进行石英管的清洗。
石英管正确安装(一)
设备人员将洗净好的石英管放入炉膛(炉膛内
事先装有工艺垫板),两人抬取石英管时,每
人负责看管一端,负责尾部者严禁直接用手抬尾
气管,以免该管发生断裂,抬石英管时将石英管
尾部的三根小管朝向净化台外侧,待石英管放进
炉膛后转动石英管直至石英管的两个尾气管朝下。
石英管正确安装(一)
安装石英管时注意保持尾部两根尾管在倾斜或
向上的位置,同时调整石英管口的位置避免尾管
碰到炉体,推到炉体尾部时,用手轻托石英管下
部,在管口轻推的力量下,顺势将石英管装入尾
部的保温棉圈内,轻旋石英管使石英管的两根尾
管处于同一水平面
随后安装前门板,小废气室并在缝隙和窟窿
中填充石英棉。
石英管安装图片(一)
●1尾管
2尾管
●3工艺垫板(在拆卸,安
装石英管时使用,防止划
伤石英管)
左图为石英管刚推入时姿
态,右图为石英管旋转后
姿态位置
石英管安装简图(一)
●1.石英管
2.尾管
●3.工艺垫板
4.尾管
石英管安装完成后,2和4
处于同一水平面,3需要
从炉体内抽出。
DIH0129
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