材料测试的方法扫描电镜SEM详解精析.ppt

扫描电子显微镜 由于透射电镜是T进行成像的,这就要求 样品的厚度必须保证在电子束可穿透的尺寸范 围内。为此需要通过各种较为繁琐的样品制备 手段将大尺寸样品转变到透射电镜可以接受的 程度。能否直接利用样品表面材料的物质性能 进行微观成像,成为科学家追求的目标。经过 努力,这种想法已成为现实——扫描电子显 微镜( Scanning Electronic Microscopy, SEM。 E JEOL扫描电子显微镜 图片来源:深圳柯西数据公司 5302001 图片来源:深圳柯西数据公司 JSM6301F场发射枪扫描电镜 圆日7 图片来源:深圳柯西数据公司 程 ∠OC=yy 图片来源:深圳柯西数据公司 SEM image(beetle) 扫描电子显微镜 引言 扫描电子显微镜( scanning electron microscope 简称扫描电镜或SEM,它是以类似电视摄影显 像的方式利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激 发出来的各种物理信号来调制成像的 新式SEM的二次电子像的分辨率已达到34mm, 大倍数可以从数倍放大到20万倍左右 由于扫描电镜的景深远比光学显微镜大,可 以用它进行显微断口分析 引言 扫描电镜的优点是 1、有较高的放大倍数,20-20万倍之间连 续可调; 2、有很大的景深,视野大,成像富有立 体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面 的细微结构; 3、试样制备简单 4、可同时进行显微形貌观察和微区成分 分析。 引言 扫描电子显微镜的设计思想和工作原理, 早在1935年便已被提出来了。1942年,英国 首先制成一台实验室用的扫描电镜,但由于 成像的分辨率很差,照相时间太长,所以实 用价值不大。经过各国科学工作者的努力, 尤其是随着电子工业技术水平的不断发展, 到1956年制造出了第一台商品扫描电镜。自 其问世以来,得到了迅速的发展,种类不断 增多,性能日益提高,并且已广泛地应用在 生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促 进了各有关学科的发展