分子泵自主保养的方法.ppt

分子泵保养与使用和维修手册 0TX2009/6/6 分子泵保养与使用和维修手册 、分子系的内部结构三 1.高真空接口60.球型轴承 前级真空接口61.半径方向防震垫圈 3.冷却水连接63.轴向防震垫圈 4.排气接口 64.电视单元 5.电气连接65.0-圈 橡胶底座 72.0-圈 10.转子 和73.0 10a.转子中心毂80.锁紧著 14.安装螺帽 81.0-圈 16.USIT接头 82.润滑油包 58.螺丝 83.0圈 分平的结 59螺帽三 84.油包安装环 二、分子泵的清洗: 口般来讲,如果说前级泵没有问题,而 真空在规定的时间内没有达到规定的真空值 或者有漏气(排除其它的漏气)、或着解吸 附作用降低,说明真空泵有点脏了,需要进 行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行 清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理 了。直接清洗的方法如下 口1.关掉分子泵,进行排气。 口2.从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边 缘部分。 口3.拆掉泠却器、加热器(如果有的话)等 口4.拆掉润滑的油包 口5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适 合的容器中。 6.往容器中用人无水酒精,高度以前级真空接口 略低为宜,如下图 分子泵放入酒精容器 大高度 ELEm E2分平聚的洗