集成电路制造中的质量控制和成品率培训课件PPT(共 84张).ppt

集成电路技术讲座 第十一讲;内容;前言－质量目标;前言－实现质量目标的措施;（一）成品率和成品率模型;成品率;成品率;成品率趋势图（例）;成品率趋势图（例）;影响成品率的因素;成品率模型－泊松模型;成品率模型－墨菲(Murphy)模型;成品率模型－(Seed)模型;缺陷尺寸和致命性;缺陷的尺寸分布和致命性;按层次细分的成品率模型;缺陷密度趋势图（例）;成品率和芯片面积（例）;（二）制造环境－沾污控制;沾污的类型;颗粒;金属杂质;重金属杂质沾污;光电导法测少子寿命;清洗条件??寿命;spv;碱金属杂质沾污;氧化层沾污（可动电荷）监控;CV法测氧化层电荷;静电释放(ESD);静电释放(ESD)的防止;（三）工艺设计优化－试验设计;试验设计;刻蚀试验的全因素试验;刻蚀试验的正交矩阵(OA);刻蚀试验的试验参数;L8 OA试验刻蚀结果;方差分析;数据分析例;（四）统计过程控制(SPC)Statistical Process Control;工艺受控的概念;正态分布函数;X　控制图;控制图;SPC流程;控制图失控判据;工序能力指数 Ck和 Cpk;（五）设备状态的控制 Offline QC;设备状态的控制;扩散炉温度稳定性1175℃ 24hr ?T1℃;Boat in后温度变化;扩散炉升温特性;扩散炉降温特性;方块电阻控制图（重复性）;多台扩散炉匹配;BOE腐蚀速率控制图;氧化层厚度均匀性监控;氧化层厚度均匀性监控（三维）;（六）产品工艺的控制　On-line QC;产品工艺的控制　;质量控制计划;基区刻蚀后CD控制图（例）;外延厚度控制图（例）;（七）PCM在质量控制中的作用;;;PCM图形;PCM图形;PCM图形内容（双极）;范德堡法测薄层电阻;Pinch电阻 ;测埋层电阻和深磷电阻;PCM图形内容（双极）;接触链图形;金属爬台阶图形;基区电阻倾向图;注入电阻倾向图;（八）低合格率圆片原因分析;低合格率圆片原因分析 ;低合格率圆片分析（例1）;低合格率圆片分析（例1）;低合格率圆片分析（例2）;低合格率圆片分析（例2）;低合格率圆片分析（例3）;　　1、不是井里没有水，而是你挖的不够深。不是成功来得慢，而是你努力的不够多。 　　2、孤单一人的时间使自己变得优秀，给来的人一个惊喜，也给自己一个好的交代。 　　3、命运给你一个比别人低的起点是想告诉你，让你用你的一生去奋斗出一个绝地反击的故事，所以有什么理由不努力! 　　4、心中没有过分的贪求，自然苦就少。口里不说多余的话，自然祸就少。腹内的食物能减少，自然病就少。思绪中没有过分欲，自然忧就少。大悲是无泪的，同样大悟无言。缘来尽量要惜，缘尽就放。人生本来就空，对人家笑笑，对自己笑笑，笑着看天下，看日出日落，花谢花开，岂不自在，哪里来的尘埃! 　　5、心情就像衣服，脏了就拿去洗洗，晒晒，阳光自然就会蔓延开来。阳光那么好，何必自寻烦恼，过好每一个当下，一万个美丽的未来抵不过一个温暖的现在。 　　6、无论你正遭遇着什么，你都要从落魄中站起来重振旗鼓，要继续保持热忱，要继续保持微笑，就像从未受伤过一样。 　　7、生命的美丽，永远展现在她的进取之中;就像大树的美丽，是展现在它负势向上高耸入云的蓬勃生机中;像雄鹰的美丽，是展现在它搏风击雨如苍天之魂的翱翔中;像江河的美丽，是展现在它波涛汹涌一泻千里的奔流中。 　　8、有些事，不可避免地发生，阴晴圆缺皆有规律，我们只能坦然地接受;有些事，只要你愿意努力，矢志不渝地付出，就能慢慢改变它的轨迹。 　　9、与其埋怨世界，不如改变自己。管好自己的心，做好自己的事，比什么都强。人生无完美，曲折亦风景。别把失去看得过重，放弃是另一种拥有;不要经常艳羡他人，人做到了，心悟到了，相信属于你的风景就在下一个拐弯处。 　　10、有些事想开了，你就会明白，在世上，你就是你，你痛痛你自己，你累累你自己，就算有人同情你，那又怎样，最后收拾残局的还是要靠你自己。 　　11、人生的某些障碍，你是逃不掉的。与其费尽周折绕过去，不如勇敢地攀登，或许这会铸就你人生的高点。 　　12、有些压力总是得自己扛过去，说出来就成了充满负能量的抱怨。寻求安慰也无济于事，还徒增了别人的烦恼。 　　13、认识到我们的所见所闻都是假象，认识到此生都是虚幻，我们才能真正认识到佛法的真相。钱多了会压死你，你承受得了吗?带，带不走，放，放不下。时时刻刻发悲心，饶益众生为他人。 　　14、梦想总是跑在我的前面。努力追寻它们，为了那一瞬间的同步，这就是动人的生命奇迹。 　　15、懒惰不会让你一下子跌倒，但会在不知不觉中减少你的收获;勤奋也不会让你一夜成功，但会在不知不觉中积累你的成果。人生需要挑战，更需要坚持和勤奋! 　　16、人生在世：可以缺钱，但不能缺德;可以失言，但不能失信;可以倒下