大口径激光传输反射镜低应力夹持工艺设计.pdf

第 卷 第 期 光 学 学 报 , ３７ 　 １ Vol．３７ No．１ 　 　 　 年 月 , ２０１７ １ Januar ２０１７ ACTAOPTICASINICA y 大口径激光传输反射镜低应力夹持工艺设计 １ ２ １ １ １ , , , , 张 政 全旭松 王 辉 姚 超 融亦鸣 　 　 　 １ , ; 清华大学机械工程系 北京 １０００８４ ２ , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 四川 绵阳 ６２１９００ ( ) , 摘要 从惯性约束核聚变 装置中具有重要作用的大口径激光传输反射镜出发 基于中国神光 主机装置的 　 ICF ＧⅢ , , 工程实践 分析了大口径激光传输反射镜夹持工艺的技术现状和难点 建立了大口径反射镜受夹持力变形的通用 , , 力学模型 提出了基于挠性零件的全新低应力夹持工艺 并利用有限元仿真和现场实验相结合的方法对挠性零件 . , 的力学特性进行了工艺效果验证 基于挠性零件的特点设计了新的全口径反射镜组件 对比研究了新旧工艺下夹 ( ) . , 持力对面形畸变 波前误差 的影响 最后 结合全新反射镜组件和夹持诱导畸变数值解耦方法构建了更加高效的 . , 完整装配工艺流程 该研究对解决大口径光学元件夹持诱导变形这一难题具有重要意义 有望为建设下一代 ICF 、 . 装置提供更加高效 可靠的技术方案 ; ; ; ; 关键词 激光器 低应力夹持 波前误差 高功率固体激光器 大口径反射镜 　 中图分类号 ; 文献标识码 　TH１６１ TN２４２　　　 　A : / doi１０．３７８８AOS２０１７３７．０１１４００２ LowＧStressMountin ConfiurationDesinforLareA erture