YS/T 987-2014氯硅烷中碳杂质的测定方法　甲基二氯氢硅的测定.pdf

ICS77.040.30 H 17 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST987 2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定 ㅤㅤㅤㅤ — Testmethodformeasurin carboncontainin com oundinchlorosilane g g p Determinationofmethldichlorosilane y 2014-10-14发布 2015-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST987 2014 氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定 1 范围 , 本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法 主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅 中甲基二氯氢硅的测定。 。 、 本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定 三氯氢硅 四 氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.00001%~1.00%。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 高纯氦 GBT4844.3 3 方法原理 ㅤㅤㅤㅤ , , ( ) 本标准采用 二氯乙烷作为内标物 利用气相色谱 质谱仪 测定三氯氢硅和四氯化硅 12- - GC-MS 。 中甲基二氯氢硅的含量 气相色谱 质谱仪通过极性毛细管色谱柱将三氯氢硅或四氯化硅的主体和碳 - , 。 , 杂质分开 确定其保留时间 利用吹扫装置将气相色谱分离后的三氯氢硅或四氯化硅主体排出 将碳杂 质导入质谱 。 仪进行分析 用气相色谱 质谱仪的定