YS/T 893-2013电子薄膜用高纯钛溅射靶材.pdf

ICS77.150.50 H 64 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST893 2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材 Hih-uritsutterin titaniumtaretusedinelectronicfilm g p yp g g ㅤㅤㅤㅤ 2013-10-17发布 2014-03-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST893 2013 电子薄膜用高纯钛溅射靶材 1 范围 、 、 、 、 、 本标准规定了电子薄膜用高纯钛溅射靶材的要求 试验方法 检验规则和标志 包装 运输 贮存及 ( ) 。 质量证明与合同 订单 等内容 本标准适用于电子薄膜制造用的各类钛溅射靶材。 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 产品几何技术规范( ) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值 GBT1031 GPS / 、 、 海绵钛 钛及钛合金化学分析方法 氧量 氮量的测定 GBT4698.7 / 、 海绵钛 钛及钛合金化学分析方法 碳量的测定 GBT4698.14 / 、 海绵钛 钛及钛合金化学分析方法 氢量的测定 GBT4698.15 / 金属平均晶粒度测定方法 GBT6394 GJB1580A 变形金属超声检验方法 / 溅射靶材 背板结合质量超声波检验方法 YST837 - ㅤㅤㅤㅤ / 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 YST891 / 高纯钛化学分析方法 痕量杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法 YST892 3 术