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半导体纳米晶体在薄膜晶体管中的应用/栾庆彬等 · 1 ·
半导体纳米晶体在薄膜晶体管中的应用。
栾庆彬,皮孝东
(浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学材料科学与工程系,杭州310027)
摘要 以非晶硅薄膜为核心的薄膜晶体管技术目前已经相当成熟,在该技术投入使用并且得以很好地优化之
后,要想进一步提高薄膜晶体管的性能,就有必要开发新型的薄膜材料。近年来,由半导体纳米晶体构成的新型薄膜
材料在晶体管中的应用越来越受到人们关注。利用半导体纳米晶体制备的薄膜晶体管有着较高的栽流子迁移率和
开关电流比,同时在其制备过程中可以在较低温度下大面积成膜,能够使用塑料等柔性衬底,因而具有明显的成本优
势,发展前景广阔。着重介绍了几种颇具潜力的半导体(如硒化镉、碲化汞、硒化铅、锗、硅)纳米晶体在制备薄膜晶体
管方面的应用。
关键词 薄膜晶体管有源层半导体纳米晶体硒化镉碲化汞硒化铅锗硅
文献标识码:A 1005—023X2014.21.001
中图分类号:TB321;TN321+.5 DOI:10.11896/j.issrL
SemiconductorforThinFilmTransistors
Nanocrystals
LUAN
Qingbin,PIXiaodong
(State ofSilicon ofMaterialsScienceand
KeyLaboratoryMaterials,ZhejiangUniversity;Department Engineering,
310027)
ZhejiangUniversity,Hangzhou
AbstractThin-filmtransistors(TFrs)arefabricated
mainlybyusingamorphous
with
forTFrS hasledtOtheextensiveonhovelthin-filmmaterials.Inrecent
quest improvedperformance study years
semiconductor attractedattention their inthe
nanocrystals(NCs)have becauseof ofthin
great potentialpreparation
filmsforTFTs.Thecarrier and ratioofTFTsbasedonsemiconductorNCs be is
mobilityIon/I。ff mayhigh.Itpossi-
blethat semiconductor-NCthinfilmscanbeobtainedatthe offlexiblesubstratesat10w
large-area top temperature.
thelOWcostofthe ofTFTsbased
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