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E84 PI/O INTERFACE
概要解説書
中文版
配布先-COPY
計-SUM
承認-APP
調査-CHK
作成-DRAWN
神鋼電機株式会社
神鋼電機株式会社
SHINKO ELECTRIC CO.,LTD.JAPAN
.
変更来歴
Rev
日付
内容
承認
作成
0
00.11.2
初版
藤原SSG
佐野
Translated by Don
2007/01/20
目 次
TOC \o 1-3 1 背景?目的 4
2 E84とE23之不同點 4
3 限制 4
4 機器構成 4
5 用語說明 5
6 控制信號之種類 6
7 Interlock Timeout 8
8 通信程序 9
8.1 裝載移載 9
8.2 卸載移載 11
9 異常檢測 12
9.1 移載動作開始前之異常 12
9.2 移載動作中之異常 13
9.3 異常移載動作後之異常 14
9.4 GO信號?OFF變化 15
9.5 異常之復舊 15
10 注意事項 15
11 Connector及各信號之分配 16
12 電路圖?Sensor Unit尺寸 18
背景?目的
半導體製造工廠中,因隨著晶圓尺寸之擴大,載體重量增加及製造工程複雜化,有導入以AGV/OHT為代表之自動搬送系統(AMHS)的趨勢。AMHS中、製造裝置與OHV(台車)藉由使用Photo I/O之通信、來取得Load/Unload之同步。此Photo I/O通信係藉由SEMI規格來定義、製造裝置及OHV需進行遵守此規格的通信控制。
SEMI規格中、雖定義E23作為上述Photo I/O通信規格、但於’99年以E23為基本而重新定義了功能強化之E84、此E84規格有成為主流的趨勢。本書係記述E84規格之概要。又,本書之對象係定為進行與AMHS裝置及半導體製造裝置間之介面相關的設計/管理。
E84とE23之不同點
追加/變更於E84之項目如下。
連續Handoff Sequence
同時Handoff Sequence
追加HO_AVBL信號、ES信號
Timer之規定
改訂Connector pin之分配
限制
本書僅記述導入於OHT系統之E84規格。
因此、以下項目與該系統不相關故予以割愛。
連續Handoff/同時Handoff Sequence
使用於連續Handoff之Timer
機器構成
圖4.1顯示本規格之E84 I/O Interface的適用例。
図4.1 E84 I/O介面例
※I/O裝置E84中並無規定Device種類?安裝位置※I/O裝置Load Port載體E84 I/O介面半導體製造裝置(側面)AGV / RGVOHV主機AMHS控制裝置
※I/O裝置
E84中並無規定Device種類?
安裝位置
※I/O裝置
Load
載體
E84 I/O介面
半導體製造裝置
(側面)
AGV / RGV
OHV
主機
AMHS控制裝置
用語説明
表5.1顯示本書使用之用語。
表5.1 用語説明
用語
解説
Active裝置
具備移載機構之裝置。[遵循SEMI E23規格]
(OHT系統中、OHV屬於Active裝置。)
Passive裝置
藉由Active裝置來進行移載之裝置。[遵循SEMI E23規格]
Passive裝置包含加工裝置/Stocker等。
本書中、Passive裝置係與『裝置』同義。
AMHS裝置
(= Automated Material Handling System)
具有可在Passive裝置間搬送載體之功能的裝置。
RGV: Rail Guided Vehicles / AGV: Automated Guided Vehicles / OHT: Overhead Hoist Transportsなど。
Auto Access Mode
AMHS裝置以自動方式進行Handoff之模式。
Manual AccessMode
Operator以手動方式進行Handoff之模式。
載體
卡匣/Box/Pod/Boat/FOUP等、用來收藏晶圓之箱子。
[遵循SEMI E1.9規
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