机械制造技术基础教学课件作者朱仁盛7.ppt

图７－４３　ＭＲＰＩＩ基本功能模块 返回 图７－４４　各功能分系统之间的信息交换 返回 ＭＩＳ—管理信息系统；ＥＩＳ—工程信息系统；ＦＭＥ—柔性制造设备； ＱＩＳ—质量信息系统 图７－４５　ＣＩＭＳ递阶控制结构 返回 图７－４６　计算机集成制造系统的学科构成 返回 图７－４７　计算机集成制造系统实验工程结构示意图 返回 图７－４８　微型超精密加工机床结构示意图 返回 图７－４９　光刻加工工艺示例 返回 图７－５０　制作双固定多晶硅桥工艺 返回 图７－５１　ＬＩＧＡ工艺过程 返回 图７－５２　工程开发流程图 返回 图７－５３　顺向工程中产品造型设计加工流程图 返回 图７－１３　数控机床的组成 返回 图７－１４　数控机床工作过程 返回 图７－１５　数控机床的分类 返回 图７－１６　数控机床 返回 （ａ）卧式数控车床；（ｂ）立式数控车床 图７－１６　数控机床（续） 返回 （ｃ）立式数控铣床；（ｄ）数控磨床；（ｅ）卧式加工中心；（ｆ）五轴加工中心 （ｇ）快走丝数控线切割机床；（ｈ）电火花机床 图７－１７　数控钻床的加工示意图 返回 图７－１８　数控铣床加工示意图 返回 图７－１９　连续切削数控系统加工示意图 返回 图７－２０　开环控制系统的结构框图 返回 图７－２１　半闭环控制系统的结构框图 返回 图７－２２　闭环控制系统的结构框图 返回 图７－２３两坐标联动加工沟槽 返回 图７－２４　三坐标联动加工曲面 返回 图７－２５　两个半坐标联动加工曲面 返回 图７－２６　五轴联动铣削曲面零件 返回 表７－４　不同档次数控功能及指标 返回 图７－２７　立式数控铣床坐标系 返回 图７－２８　卧式数控车床坐标系 返回 图７－２９　被加工零件坐标系的建立 返回 图７－３０　机床坐标系原点 返回 图７－３１　零件加工批量数与综合费用的关系图 返回 图７－３２　零件复杂程度与批量数的关系 返回 图７－３３　数控机床程序编制过程 返回 图７－３４　自动编程流程图 返回 图７－３５　成组工艺的基本原理 返回 图７－３６　零件分类前后比较 返回 （ａ）分类前；（ｂ）分类后 　图７－３７　成组工艺的生产组织形式 返回 图７－３８　柔性制造系统的组成 返回 图７－３９　柔性制造系统各组成部分关系 返回 图７－４０　柔性制造系统的适应范围 返回 图７－４１　计算机集成制造研究框架 返回 图７－４２　ＣＩＭＳ功能子系统的组成 返回 7.3　其他先进制造技术简介 （３）加工特征　微细加工和超微细加工以分离或结合原子、分子为加工对象，以电子束、粒子束为加工基础，采用沉积、刻蚀、溅射、蒸镀等手段进行各种处理。微细加工技术应满足下列功能： （１）为达到很小的单位去除率（ＵＲ），需要各轴能实现足够小的微量移动，对于微细的机械加工和电加工工艺，微量移动应可小至几十个纳米，电加工的ＵＲ最小极限取决于脉冲放电的能量。 （２）高灵敏的伺服进给系统，它要求低摩擦的传动系统和导轨主承系统以及高精度跟踪性能的伺服系。 上一页 下一页 返回 7.3　其他先进制造技术简介 （３）高平稳性的进给运动，尽量减少由于制造和装配误差引起的各轴的运动误差。 （４）高的定位精度和重复定位精度。 （５）低热变形结构设计。 （６）刀具的稳固夹持和高的重复夹持精度。 （７）高的主轴转速及极低的动不平衡。 （８）稳固的床身构件并隔绝外界的振动干扰。 （９）具有刀具破损和微型钻头折断的敏感的监控系统。 上一页 下一页 返回 7.3　其他先进制造技术简介 ２.微细加工技术的特点 （１）从加工对象上看，微细加工不但加工尺度极小，而且被加工对象的整体尺寸也很微小； （２）由于微机械对象的微小性和脆弱性，仅仅依靠控制和重复宏观的加工相对运动轨迹达到加工目的，已经很不现实。必须针对不同对象和加工要求，具体考虑不同的加工方法和手段； （３）微细加工在加工目的、加工设备、制造环境、材料选择与处理、测量方法和仪器等方面都有其特殊要求。 （４）加工机理与一般加工相比，存在很大差异。 　３.微细加工技术应用 （１）超微机械加工 上一页 下一页 返回 7.3　其他先进制造技术简介 利用超小型机床制作毫米级以下的微机械零件，如图７－４８所示，为车、铣、磨、电火花加工的多功能微型加工机床，最小设定单位为１ｎｍ，单晶金刚石刀具，刀尖圆弧半径为１００ｎｍ左右，难点：微型刀具制造、刀具姿态、加工基准定位等。 （２）光刻加工 光刻加工经过：①氧化，使硅晶片表面形成一层氧化层；②涂胶，涂光致抗蚀剂；③曝光，通过掩模曝光；④显影，使曝光部分溶解去除；⑤腐蚀，使未被覆盖部分腐蚀掉；⑥去胶，将光致抗蚀剂去除；⑦扩散，向需要杂质的部分扩散杂质，以完成整个光刻加工过程。如图７－４９所示。 （３）体刻蚀加工技术 上一页 下一页 返回 7.3　其他先进制造技术简介