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产品数据
QuantaTM 650 FEG
查看真正的高分辨率多功能扫描电子显微镜
(SEM) 具有何种功能
TM
FEI Quanta 可用于研究各种材料并表征材料的结构与成分,同时提供无与伦比
的灵活性,提高了性能与通用性,可应对当今广泛研究领域的各种挑战,满足多
方需要。观察样品,获取所有相关数据:将显微镜附件与表面形貌和成分图像结
合使用,确定材料特性及其化学元素组成。
当前的研究材料已不止是简单的金属和涂层样品。而 Quanta 系列能够轻松解决
此类挑战,确保提供最优质的图像和分析。FEI Quanta 50 系列是先进和灵活的解
决方案,可应用于现在及未来的相关研究中。此系列采用三种成像模式 – 高真
空、低真空和 ESEMTM 模式,可使 SEM 系统样品包括最广泛的类型。这些仪器经
专门设计,可从各类样品(无论有无制备)中获取最丰富的成像和显微分析数
据。适于表征的材料从传统样品如金属、断口和抛光片一直到非导电软材料。
Quanta 50 系列是第三代 Quanta 系统,其建立在已获成功的前代 ESEM Schottky
FEG 产品的基础上。Quanta 系列具易用且灵活的用户界面,可最大限度提高工
主要优点
作效率,并实现对所有数据的收集。该仪器系列的设计源于显微镜工作者,
• 采用环境扫描显微 (ESEM) 技术,打造唯一的
并用于显微镜工作者,是一款真正超越 “易用性”的产品。导航功能包括自
高分辨率 FEG-SEM 产品
• 可表征导电和非导电样品,且在各操作模 动 Montage 导航、样品台移动双击控制、拖放变焦和其他有用的标准结合功
式下均可能实现二次电子 (SE) 和背散射电子 能。SmartSCANTM 技术采用智能扫描策略,可减少噪声,提供最优质的数据。其
(BSE) 成像 TM
他新功能包括可提高低加速电压 (kV) 性能的射束减速功能、Nav-Cam 彩色图像
• 最大限度减少样品制备量;低真空和环境扫
导航和使 Quanta FEG 系列具备更大灵活性的新型伸缩式检测器等。
描 (ESEM) 功能可实现无电荷成像,并能实现
对绝缘样品和含水样品的分析 更优质的数据。更大的灵活性。更高的效率。通用型 FEG ESEM 如今正式面市。
• 在 Quanta 的 “经由透镜抽气”专利技术产
生的高真空和低真空环境中对导电和非导电
样品进行能谱 (EDS) 和电子背散射 (EBSD) 分
析,以提高分析能力。稳定的高射束电流
(达到 200 nA )可实现快速、准确的分析
• 在专用原位样品台上可对各种保持自然状
态的样品进行动态原位分析,分析温度高
于或低于环境温度,变化区间从 - 165 °C 到
1500 °C
• 使用可选的射束减速模式能进行表面成像,
以从导电样品中获取表面和成分信息
• 易用,直观的软件让新手也能高效
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