带自动参照功能的数字压力传感器.pdf

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2019-09-14 发布于天津
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带自动参照功能的数字压力传感器 DP3 自动参照功能始终确保高精度检测 3 P D * 已通过UL 991环境检测 * 符合UL 61010C-1 ，并已通过基于SEMI S2-0200的UL 991 环境检测。 [半导体生产适用范围: TWW2 ，处理设备] [适用标准: UL 61010C-1] [额外检测/指定用途的评价标准: UL 991, SEMI S2-0200] 装备自动参照功能 ·不受基准压力变化的影响通过一个外部信号，设定(基准)值可通过改变相应的压漏气测试实例力变化值改正。因此传感器的判断与基准压力改变前一样精确。该功能非常适用于有剧烈基准压力变化或需进行精确设定的场合。 ·总成本降低到现在为止. . . 每个吸入喷嘴都要求一个传感器若DP3. . . 工作效率提高！由于基准值随吸入喷嘴不同而不同，因此每个吸入喷嘴由于通过自动参照功能基准值可自动变化，因此一个传都需要一个传感器，这样就大大增加了成本。感器可交替使用两个吸入喷嘴。集成电路块调整器 Tronic Electronics (HK) Ltd. Room 1617, Asia Trade Center, 79 Lei Muk Road, Kwai Chung, N.T., Hong Kong Tronic Electronics (HK) Ltd.Tronic Electronics (HK) Ltd. 1 Tel:852Fax:852 Email:tronic@ DP3