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2017年9月 第32卷 第5期
·49·
JOURNALOFLIGHTINDUSTRY Vol.32No.5Sep.2017
引用格式:宋海媚,李顺灵,王立杰,等.多孔阳极氧化铝膜的制备及其膜结构影响因素研究
[J].轻工学报,2017,32(5):49-56.
中图分类号:TB33 文献标识码:A
DOI:10.3969/j.issn.2096-1553.2017.5.007
文章编号:2096-1553(2017)05-0049-08
多孔阳极氧化铝膜的制备及其
膜结构影响因素研究
Researchonpreparationofporousanodicaluminumoxidefilmanditsstructure
influencingfactors
1 2 1 1 1 1
宋海媚 ,李顺灵 ,王立杰 ,张琰 ,董梦果 ,杨清香 ,
陈志军1
1 2 1 1 1
SONGHaimei,LIShunlin,WANGLijie,ZHANGYan,DONGMengguo,
1 1
YANGQingxiang,CHENZhijun
1.郑州轻工业学院材料与化学工程学院,河南 郑州450001;
2.河南金谷实业发展有限公司,河南 郑州450006
1.CollegeofMaterialandChemicalEngineering,ZhengzhouUniversityofLightIndustry,Zhengzhou
450001,China;
2.He′nanJinguIndustryDevelopmentCo.,Ltd.,Zhengzhou450006,China
摘要:以铝为模板,通过二次阳极氧化法制备多孔阳极氧化铝(AAO)膜,利用原
关键词:
子力显微镜观察AAO膜的微观形貌,分析退火处理、电化学抛光处理、阳极氧
阳极氧化;AAO膜;原
化电压、阳极氧化时间等因素对AAO膜结构的影响,结果表明:AAO膜的物相
子力显微镜;有序性
为非晶态,但经高温退火处理所得AAO膜会被部分晶相化;电化学抛光能有效
Keywords: 改善孔洞分布的均匀性.当氧化电压在40~55V范围内,AAO膜的孔径随着阳
anodicoxidation; 极氧化电压的升高而增大,膜孔洞结构排布的有序性也得到增强;膜孔孔径大
AAOfilm;atomic 小分布在40~100nm之间;阳极氧化时间对膜的孔径没有显著影响;当电解液
forcemicroscope; 温度在0~20℃范围内,AAO膜的孔径随着电解液温度的升高而减小,且AAO
orderingdegree 膜的有序性也随之增强.
收稿日期:2016-06-10;修回日期:2017-02-27
基金项目:国家自然科学基金项目20976168)
作者简介:宋海媚(1991—),女,河南省信阳市人,郑州轻工业学院硕士研究生,主要研究方向为材料表界面物理与化学
及功能材料.
通信作者:陈志军(1963—),男,河南省信阳市人,郑州轻工业学院教授,博士,主要研究方向为材料表界面物理与化学及
功能材料.
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