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扫描式电子显微镜能量散布光谱仪原理.PDF
/量
理
(SEM/EDS, Scanning Electron Microscope
/Energy Dispersive Spectrometer)
類
(OM, Optical Microscope)
(TEM, Transmission Electron Microscope)
(SEM, Scanning Electron Microscope)
(STEM, Scanning Transmission Electron Microscope)
(SPM, Scanning Probe Microscope)
Page 2
類-1
Page 3
類-2
JEM-3200FSC :300kV field emission gun
Page 4
歷
度
(
m
)
RBC: 年
CD pits:洞
Page 5
度
1 mm =10-3 m, 1 µm =10-6 m, 1 nm=10-9 m, 1 Å=10-10 m
Page 6
度
度 率
0.2mm 11
0.2 µm 2000X ~0.1 µm
3.5~10 nm 300000X 35 µm
( ) (1000X)
0.2 nm 106 X更 20 µm
:SEM 率 650000X
Page 7
0.006 nm
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