无尘车间洁净度标准.doc

无尘车间工程/净化设备风淋室/空气过滤器 无尘车间洁净度如何确定详细分析 一、净化车间的规格 净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E，名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本，相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的 颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。 表7 美国联邦规格 No.209B 净化间级别 粒子 室内压力Pa mmH2O 温度 湿度 气流 换气次数 照度 粒径 um 累计粒子数 范围 （℃） 推荐值（℃） 差 （℃） 高 （%） 最低 % 误差 % 100 1000 10000 100000 ≧0.5 ≧0.5 ≧5 ≧0.5 ≧5 ≧0.5 ≧5 100 1000 10 10000 65 100000 700 +13 （+1.3） 以上 19.4— 25 22.2 ±2.8 特别时为±1.4 45 30 ±10 特别时为±5 层流方式 0.45m/s ±0.1m/s 非层流方式 ≧20次/h 1080--1620 表8, 美国联邦规格No.209E的 洁净度级别分类 级别上限值是各级别名。上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。* 级别名称** 级别上限值 粒径 0.1um 粒径 0.2um 粒径 0.3um 粒径 0.5um 粒径 5um SI*** English Unit (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) (m3) (ft3) MI M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5 M7 1 10 100 1000 10000 100000 350 1240 3500 12000 35000 -- -- -- -- -- -- -- -- 9.91 35.0 99.1 350 991 -- -- -- -- -- -- -- -- 75.7 265 757 2650 7570 26500 75700 -- -- -- -- -- -- 2.14 7.50 21.4 75.0 214 750 2140 -- -- -- -- -- -- 30.9 106 309 1060 3090 10600 30900 -- -- -- -- -- -- 0.875 3.00 8.75 30.0 87.5 300 875 -- -- -- -- -- -- 10.0 35.3 100 353 1000 3530 10000 35300 100000 353000 1000000 35300000.283 1.00 2.83 10.0 28.3 100 283 1000 2380 10000 28300 100000 283000 -- -- -- -- -- -- -- 247 618 2470 6180 24700 61800 -- -- -- -- -- -- -- 7.00 17.5 70.0 175 700 1750 * 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。 ** 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。 粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D : 粒径（um） ***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写） 图1 ，209E的洁净度级别（图略） 图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。 （ ）内数值是用English unit 表示级别。 图2 ，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度 表9，JIS B 9920主要内容 净化间级别 标准粒径（um） 累计粒子数(个/m3) 1 2 3 4 5 6 7 8 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 101 102 103 104 105 106 107 108 表10，美国航空宇宙局规格主要内容 生物净化间级别 粒子 生物粒子 室内 压力 Pa mmH2O 温度 ℃ 湿度 % 气流 换气次数 照度 Lx 粒径 um 累计 粒子数 个/ft (个/l) 浮游量