GB/T 20307-2006纳米级长度的扫描电镜测量方法通则.pdf

ICS 37.020. 17. 040 N 33 中华人民共和国国家标准 GB/T 20307—2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则 General rules for nanometer-scale length measurement by SEM 2006-07-19 发布 2007-02-01 实施 发布 GB/T 20307—2006 目 次 前言皿 1范围1 2 规范性引用文件1 3 基本原理 1 4标准样品和仪器设备 1 5 操作方法 1 6 数据处理 3 7测量结果 4 附录A （规范性附录 ）被测长度方向的确认和调节 5 附录B （规范性附录 ）标准样品的扩展7 附录C （规范性附录 ）长度实测值的不确定度的评定与表示9 附录D （资料性附录 ）原始记录格式12 附录E （资料性附录 ）测量报告格式 13 T GB/T 20307—2006 ■ 1 / ■ ■ 1 刖 a 本标准的附录A 、附录B和附录C为规范性附录，附录D 、附录E为资料性附录° 本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出。 本标准由全国微束分析标准化技术委员会归口。 本标准主要起草单位：中国科学院地质与地球物理研究所，同济大学，中国科学院化学所，中国地质 科学院矿产资源研究所 ，上海理工大学等。 本标准主要起草人：张训彪、曾荣树、廖宗廷、卢德生、刘芬、李戎、周剑雄、邓保庆等。 m GB/T 20307—2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则 1范围 本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则 。适用于测量10 nm~500 nm的点或线的 间距。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 。凡是注日期的引用文件，其随后所有 的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是 否可使用这些文件的最新版本 。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 JJF 1059— 1999测量不确定度评定与表示 BIPM IEC IFCC ISO IUPAC IUPAP OIML— 1993 《Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement》 （测量不确定度表示指南） 3基本原理 用扫描电镜在相同的状态下 ，获取被测样品和标准样品的二次电子像 ，然后测量出被测样品和标准 样品图像中的长度 。结合标准样品的已知长度，计算出被测样品的长度。 4标准样品和仪器设备 4. 1标准样品：首选国家级有证标准样品 。其次选用省级以上 （包括省级）计量技术机构标定的样品。 4. 2扫描电镜：二次电子分辨力优于2 nmo 4.3正置立式金相显微镜:放大倍数不小于300倍。 4.4可调样品柱：丁作面的高度可