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电子回旋共振微波等离子体及其在材料科学中的应用施昌勇北京服装学院基础部低气压低温放电方面的一个重要的最新进展一微波等离子体技术的特点是电子回旋共振放电这种技术首先是在核在等离子体应用技术中可以定义能量活性系聚变研究中发展起来的最初它被用于磁镜实验数其中是碰撞离子能量是装置产生和加热等离子体后来又被发展成为托卡中性粒子能量马克串级磁镜等聚变装置实验中进行等离子体加随着离化率及等离子体密度的提高能量活性热的主要手段之一即电子回旋共振加热系数可以大大提高从而增加了等离子体的强化作目前这一高技术已被移植
电子回旋共振微波等离子体及其在材料科学中的应用
施 昌 勇
(北京服装学院基础部 100029)
低气压 、低温放电方面的一个重要的最新进展 一 、ECR 微波等离子体技术的特点
( )
是电子回旋共振 ECR 放电。这种技术首先是在核 在等离子体应用技术中 ,可以定义能量活性系
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