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4、利用自行设计的基于毛细管微探针的微结构制备系统进行了微结构制备实 ；
f
验。在实验室环境下，通过调节电解液的成分和浓度、电流密度和步进移动速度，
i
寻找最佳的加工条件，加工出点、线以及直径和高度可控的高纵横比铜柱等微结
构。并通过将多个微探针并联的方式，来实现多个铜微柱的批量加工。采用金属
和半导体材料作为加工基底，实现在不同材料上的微加工。这些实验结果验证了
利用毛细管微探针的微结构制备新方法及其系统的可行性和稳定性。
关键词：微纳米加工技术，微结构制备，电化学微加工，实时显微监控，步进移
动，毛细管微探针，批量加工
Abstract
isa inrecent
Micro／nano-technologynewlydevelopedint．erdisciplinarysubject
oneofits is
brancbes，micro-nanofabricationtechnology
years，as important applied
ina of micro—nanofabricationincludebulk
widelylot areas．Traditional technologies
technology,surfacemicromachiningtechnology,LIGA(X-raydeep
micromachining
technology
lithography,electroformmolding，plasticmolding)technology,bonding
evolutionofthese
andsacrificial and
layertechnology,etc．Theemergence
and
micro—nanofabrication microelectronics
technologiespromoted photonics
had
technologiesmany
technology’Sdevelopmentgreatly．However,these
steps，andlong
disadvantage，forexample，neededexpensiveequipment,complex
limitedthefurther of
cycle，which developmentmicro／nano-technology．
machining
anew of microstructurebasedo
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