微流体脉冲惯性喷射技术制备微电极-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棾 暋 棻棸 暋 斨旓旍棶棽棾暋斘旓棶棻棸 暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椀 棻棸 暋 暋 暋 斚斻旚棶棽棸棻椀 文章编号 棬 棭增灢棸棽椆棻灢棸椂 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椀 微流体脉冲惯性喷射技术制备微电极 棻 棻灣 棻 棻 棽 棻 棳 棳 棳 棳 棳 杨利军 朱 丽 朱晓阳 陆宝春 王洪成 章维一 暋 棬 棳 椈 南京理工大学机械工程学院 江苏南京 棻棶 棽棻棸棸椆棿 棳 棭 南京航空航天大学仿生结构与材料防护研究所 江苏南京 棽棶 棽棻棸棸棻椂 椇 暎 棳 摘要 基于微流体脉冲惯性喷射技术搭建了微电极的按需喷射制备系统 以纳米银导电墨水为喷射材料 将其以一定的 棳 椈 重叠率按需微喷射到经过洁净处理的盖玻片基底表面上 形成微电极图形 然后将制备有微电极图形的玻片置于恒温干 棳 棳 暎 燥箱 以棻棿棸曟烧结 棽椀旐旈旑后进行固化 制得微电极 实验研究了微喷嘴内径和驱动电压对液滴直径的影响以及液滴直 暎 棳 棳 径和重叠率对微电极图形宽度的影响 最后 制备了任意图形的微电极 并对微电极导电性能的均匀性和微电极的稳定 暎 棳 暍 暍 性进行了检测 实验结果表明 采用微流体脉冲惯性喷射技术制备微电极的方法制备过程简单 成本较低 基底不需进 棳 棳 棳 暎 行表面处理 制备的微电极几何尺寸可控 导电性能均匀 具有较好的形貌和电阻稳定性 椇 椈 椈 椈 关 键 词 微流体脉冲惯性喷射 微电极 盖玻片基底 任意图形 暋 暋 中图分类号椇 椈 文献标识码椇 椇 棷 斣斝棽椃棾斣斝椂椆暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻椀棽棾棻棾棶棸棽椆棻 斊斸斺旘旈斻斸旚旈旓旑旓旀旐旈斻旘旓斿旍斿斻旚旘旓斾斿旙斺斸旙斿斾旓旑旐旈斻旘旓旀旍旛旈斾旈斻 旛旍旙斿旈旑斿旘旚旈斸旍斿旚旚旈旑 旚斿斻旇旑旓旍旓 旔 旉 旂 旂旟 棻 棻灣 棻 棻