【薛松生】磁传感器产业发展现状与问题.pdf

磁传感器产业发展现状及问题 磁传感器应用领域 磁传感器的应用可以覆盖工业的每一个角落，市场总量上千亿 能源领域 生物医疗 工业控制 精密测量 仪器仪表 导航设备 地磁场 电子罗盘，导航仪…… 汽车领域 存储设备 电 流 电流传感器，电压传感器，电量传感器，温度传感器，…… TMR磁传感器 磁位置 磁性编码器，速度传感器，磁开关，磁栅尺， 金融磁头…… 消费电子 通讯电子 航空航天 数码产品 生物芯片 安防监控 电源产品 工业测量 TMR技术 TMR ：最新一代的磁传感器技术 磁传感器技术发展趋势 Hall — 霍尔效应 AMR — 各向异性磁电阻 GMR — 巨磁电阻 TMR — 隧道磁电阻 (1%) (3%) (20%) (~250%) 性能指标 功耗 芯片尺寸 灵敏度 动态范围 分辨率 温度特性 (mA) (mm) (mV/V/Oe) (Oe) ( /(Hz)1/2) ( ℃ ) 技术 霍尔效应 5~20 1×1 ~0.05 1 ～1000 ＞1 mT 150 AMR 1~10 1×1 ~1 0.001 ～10 1 ～10 nT 150 GMR 1~10 2×2 ~5 0.1 ～30 1 ～10 nT 150 TMR 0.001~0.01 0.5 ×0.5 ~100 0.001 ～500 0.1 ～10 nT ≤ 200 全桥输出比较 AMR=3%, GMR=15%, TMR=200% 所有的传感器在使用聚磁结构后都可 以达到很高的灵敏度 技术类别 灵敏度（mV/Oe ） Hall 0.015 AMR 1 GMR 5 TMR 33 备注: 在 100 Oe处， 通用的霍尔传感器只能产生0.015V 的输出 (Lakeshore HGA 2010) ，相比之下非常小。 传感器噪声比较