URE-2000S型紫外单双面深度曝光光刻机使用及维护指南.doc

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产品编号: URE-2000S型紫外单双面深度曝光光刻机 使用及维护指南 感谢您购买本所设备,使用前请仔细阅读本说明书! 安全警示 用户配备的电源插座,必须是符合国家标准具有保护接地功能的三孔插座,否则不能使用。使用仪器时,请检查所有的电缆是否正确、可靠连接。 严禁带电拔插与仪器有关的任何插头、插座(包括计算机)。仪器使用后,关掉所有开关,切断所有电源。 重要提示 本仪器是集光、机、电一体用于微细加工的精密设备,使用者应具有相应的专业技术知识。 以下情况之一,不属厂家的责任范围: ●由于使用者操作不当、未按使用说明书要求使用或使用者人为造成的设备损坏。 ●未经生产厂家许可,任何第三方对本设

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