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2013年最新《薄膜材料与技术》ppt课件合集 西安理工大学
Thin Film Materials Technologies
课程简介
总学时数:24 学时,每周4 学时,9-14 周
课程性质:材料类专业院级任选课
学习:薄膜材料的合成制备、形成机制、成分结构、性质性能
掌握:薄膜材料的基本概念、一般规律和工艺方法 !
教材:
郑伟涛:薄膜材料与薄膜技术(第2版),
化学工业出版社,2008
唐伟忠:薄膜材料制备原理、技术及应用(第2版),
冶金工业出版社,2003
西安理工大学 薄膜材料与技术
Xian University of Technology -1- 材料科学与工程学院2008©
Thin Film Materials Technologies
课程简介
主要参考书:
1、田民波,薄膜技术与薄膜材料,清华大学出版社,2006
2、M.Ohring ,薄膜材料科学(第2版影印本),世界图书出版公司,2006
3、杨帮朝,薄膜物理与技术,电子科技大学出版社,2006
4、戴达煌,现代表面技术科学,冶金工业出版社,2004
教学要求和考核方式:
1、不缺课,杜绝迟到,认真听讲,独立思考;
2、要复习并独立完成作业,作业要评分;
3、开卷考试,考核成绩=作业(10%)+ 课堂(10%)+ 考试(80%)。
西安理工大学 薄膜材料与技术
Xian University of Technology -2- 材料科学与工程学院2008©
Thin Film Materials Technologies
主要教学内容
第1 章 真空技术基础(2 学时)
真空的基本知识、获得方法和测量技术
第2 章 薄膜制备的化学方法(6 学时)
CVD 技术的原理、分类、设备工艺及应用场合
其它基于化学方法的薄膜制备技术的原理、特点和应用领域
第3 章 薄膜制备的物理方法(6 学时)
蒸发、溅射、离子镀等PVD 技术的原理、工艺及适用领域
第4 章 薄膜的形成与生长(6 学时)
薄膜形核、生长、形成理论;典型生长机制及对应结构特征
第5章 薄膜表征(4 学时)
薄膜材料现代表征方法的分类、原理和适用范围
西安理工大学 薄膜材料与技术
Xian University of Technology -3- 材料科学与工程学院2008©
Thin Film Materials Technologies
本课程讨论的对象:
什么是薄膜(Thin film)?
①相对尺度:某一维尺寸 其余二维尺寸;
②绝对尺度:在此维度上材料厚度 1~5 m ,
厚度 5 m 的沉积层叫什么?
一般称为涂层(Coatings)
本课程的讨论对象是什么?
具有结构/功能特性的固态薄膜(thin solid films )!
西安理工大学 薄膜材料与技术
Xian University of Technology -4- 材料科学与工程学院2008©
Thin Film Materials Technologies
本课程的研究内容
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