微小电容测试电路.doc

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2018-05-08 发布于四川
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微小电容测试电路摘要：随着MEMS工艺的逐渐提高，传感电容越来越小，外界物理量引起的传感电容的变化更是微小，这样检测电路就变的相对复杂。传感器的检测精度很大部分被检测电路所限制。本文的检测电容ASIC用于检测MEMS电容传感器的微弱电容变化，把传感器变化的电容量转换成变化的电压值。我们的目的是把设计流片出来的裸片和传感器封装在一个管壳内，从而达到降低传感器体积、增加传感器灵敏度的目的。微电容检测主要是把MEMS电容传感器因外界某物理量的变化而引起的传感电容的变化转换成电压或者电流信号，并对信号进行放大，使信号可以在仪器上输出或者控制其它执行器件的运行。在电容式加速度计中，常见的检测电路有