德国米铱光谱共焦位移传感器测量透明材料厚度的应用.pdf

光机电信息 第 卷 第 期 28 9 OME Information Vol.28 No.9 文章编号：1007-1180(2011)09-0050-04 光谱共焦位移传感器测量 透明材料厚度的应用 1 2 朱万彬 ， 曹世豪 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 吉林 长春 ； 1. , 130033 2． 长春理工大学， 吉林 长春 130022） 摘 要： 介绍了光谱共焦位移传感器的结构与原理， 及其在测量厚度方面的应用， 重点讨论了光谱共焦位 移传感器用于测量透明材料平行平板厚度的可行性， 对其产生的误差进行了详细的分析， 并给出了相应的补 偿方法。 关键词： 光谱共焦； 位移传感器； 色散系数 中图分类号： TP212.12 文献标识码： A DOI ： 10.3788/OME0050 Application of Confocal Chromatic Displacement Sensors to Measuring Thickness of Transparent Material 1 2 - - ZHU Wan bin , CAO Shi hao (1. State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics ， Fine Mechanics and Physics ， Chinese Academy of Sciences ， Changchun 130033， China ； 2. Changchun University of Science and Technology, Changchun 130022, China) Abstract: The structure and principle of the spectral confocal displacement sensor were described in this paper, and the application to measuring the thickness was analyzed. The paper focused on the feasibility of measuring the parallel plates made of transparent materials. The measurement errors were also analyzed, and the corresponding co