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2018-02-24 发布于河南
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纳米加工

CSPM5500系列扫描探针显微镜纳米加工系统精确的路径位移定位自定义图形加载功能可以在纳米级尺度上加工任意需要的复杂结构图形刻蚀模式利用电致刻蚀技术，可以在纳米级尺度上加工任意需要的复杂结构。??? ??? 电致刻蚀主要由一个施加在样品与表面间的脉冲电压引起，当所加电压超过阈值时，暴露在电场下的样品表面会发生化学或物理变化。这些变化或者可逆或者不可逆，其机理可以直接归因于电场效应，高度局域化的强电场可以诱导原子的场蒸发，也可以由电流焦耳热或原子电迁移引起样品表面的变化。通过控制脉冲宽度和脉幅可以限制刻蚀表面的横向分辨率，这些变化通常不仅表现在表面形貌上，通过检测其导电性、dI/dS、dI/dV、摩擦力还可以分辨出衬底的修饰情况。压痕/机械刻画操纵微探针以可控的作用力对样品表面进行局域施压,使样品发生弹性/塑性形变；也可在施压的同时，控制探针以一定的路径和速度在样品运动，对样品进行机械刻画。 ?? 基于扫描探针显微镜(SPM)系统的压痕/机械刻画功能，为在纳米尺度上评价材料的机械和运动性能，或在样品表面构建特定的纳米结构提供了一种方便实用的研究手段。矢量扫描模式系统提供一个向量脚本编译器，允许用户任意指定扫描方向、距离、速度及加工参数（如作用力、电流、电压等），直接操纵探针运动，同时灵活测定各种信号和数据。 DPN浸润笔模式 * * * * DPN(Dip-Pen Nanolithography)浸润笔利用已作过分子修饰的探针，通过控制探针与样品间的相互作用条件，来实现探针针尖到样品表面的分子传输。 ??? DPN实际上是一种简便的从探针针尖到样品表面的输运分子的方法，其分辨率可媲美电子束刻蚀等方法，对纳米器件的功能化更为有用。