半导体分立器件封装测试车间洁净级别1万级的分析.pdfVIP

可行性分析 关于车间局部万级改造的分析 关于生产车间划片区域局部岗位约需要80m2 的洁净级别为万级的区域，进 行方案规划及技术经济分析。 一、改造前提：  洁净级别：10000 级，ISO CLASS 7  区域面积：80m2  区域位置：原划片工段内  产品/工艺：硅片切割划片  区域人数：6 人/班  动力需求：与划片区相同  FM 要求：  不燃烧体岩棉夹芯彩钢板  CLASS 0 级阿乐斯  耐火阻燃电缆  测试条件：满足静态测试洁净级别  其他要求：  人流/物流充分、可靠清洁  本改造不含工艺设备与HOOK-UP 二、可选择的方案如下 ： A 、方案 （一）、在K-1 区域西侧分隔出一个单独的系统AHU K-9 。 1、系统基本配置：  需要用彩钢板分隔出  空调机房一个面积约25m2  二次更衣间一个面积约12m2  气闸间/风淋室一个面积约10m2  双侧下回风道占地面积增加约10 m2  万级区域面积约80m2  吊顶板彩钢板面积约130 m2  空调机房吸音板约90 m2  增加组合式空调机组AHU-K-9 （15000M3/H）一台、风淋室一套  空调换气次数：不低于35 次  增加风管、风阀、侧下回风口若干  出屋面风道，屋面结构可靠修复  增加高效过滤器10IA 型约12 个，05IA 型约2 个 （可利用旧有）  增加空调水系统管道、排水管道若干  增加蒸汽加热、加湿系统管线若干  增加空调自动控制系统一套  增加设备动力配电电缆若干、动力柜一个  相关原有位置灯具、围护结构壁板顶板、夹层上风、水、气体动 力管线拆除/移位；消防系统变更；地面改造。  改造洁净措施，隔离围护约150M2 第 1 页 共 7 页 可行性分析 2、费用估算：  建筑、围护结构6.5 万元  空调机组 10 万元  风淋室约12 万  高效过滤器2 万元  风路系统7 万元  水、气管线系统2 万元  电照系统5 万元  自动控制系统10 万元  拆除及洁净措施费用4.5 万元  设计费用1~2 万元  测试/综合调试费用5 万  其他不可预见费用5 万元 合计：约70 万元 3、施工改造难度：很大 B 、方案 （二）、把K-1 区域AHU 系统全面升级为万级系统。 1、基本配置：  需要用彩钢板分隔出  二次更衣间一个面积约15m2  气闸间/风淋室一个面积约10m2  双侧下回风道占地面积增加约10 m2  组合式空调机组AHU-K-1 机组变更改造风机段/重新购置机组一台、 风淋室一套  增加风管、风阀、侧下回风口若干  增加高效过滤器10IA 型约8 个  局部更换空调水系统管道  更换动力电缆若干  相关原有设施全部利旧  改造洁净措施，隔离围护约50M2 2、费用估算： 