Ce掺杂对TbFeCo材料磁光性能影响的研究.pdfVIP

高技术通讯 2##$+2 掺杂对 材料磁光性能影响的研究 ! #$%! ! 周世杰 张喜燕 刘志农 齐琳琳 邹 斌 （西南交通大学稀土金属与信息材料研究所 成都 ） !##$ 摘 要 采用射频磁控溅射方法制备了 非晶磁光薄膜，并在 中引入轻稀土 %’()* %’()* 元素 ，测试了薄膜的磁光性能，研究了薄膜成分对其磁光性能的影响。结果表明：在 )( 薄膜中掺入少量 时，薄膜的磁光克尔角及矫顽力都有所提高，矩形度也增加了， %’()* )( 但随 掺入量的增加，薄膜的磁光性能发生恶化，较好的掺杂在 左右。 )( #+$,)( 关键词 磁光材料，薄膜，稀土，掺杂 这些小片的片数和位置来改变靶和膜的成分。选择 的工艺参数及 的掺入量如表 所示。薄膜的 # 引言 )( 角 和矫顽力 在 - 型磁光克尔效应自 B(C ! ! /’DD ! 目前，一般应用稀土 过渡族元素（ ）非晶 动测试仪上测量，用 EFG4程序进行计算机采样。 - - .(%/ 用 能谱对薄膜进行成分分析。 态合金薄膜作为磁光盘记录介质，如 、 H@? %’()* ［，］ 2 等，并已经实用化 。它们都是重稀土与 0 ’()* 1 表 薄膜溅射工艺参数及 的掺入量 ’ ! 过渡族金属组成的合金，比较容易制备出具有足够 样 品 %’()*%’()*)( %’()*)(2 %’()*)($ 高垂直膜面磁各向异性的材料。已经知道在重稀土 过渡族金属非晶薄膜中用少量的轻稀土元素替代 溅射功率（ ） - I 24# $## $## $## 重稀土元素可以增加磁光克尔角、减小记录磁畴尺 溅射时间（） J K# 2# 2# 2# ［］ $ 寸和改善温度特性 。目