表面处理-PVD介绍.ppt

PVD产品要求 导电性能：方块电阻小于6欧，膜层分布均匀 （用干涉显微镜检查膜层表面的光洁度，测定膜层的厚度，导电率=方块电阻*膜厚） 电池功率：退火前达到45-50W左右 第三部分：操作规范 一、开机规范 1、开启前，检查水电气是否正常供应 2、开启分子泵及腔室循环水，先逆时针打开总回水阀，然后逆时针打开总进水阀，调节进水压力值为0.25-0.3MPa左右，然后用同样方法开启靶子循环水路，压力值同分子泵一样； 3、开启压缩空气总进气阀，通过二联件上的空气压力调节器设定进气压力为0.55MPa左右，开启氩气进气阀，设定压力值为3Bar左右 ； 4、打开电控柜总电源开关，开启控制电脑，打开控制软件，进入控制界面； 5、检查是否有报警情况，然后确认控制界面各项参数是否正常 ； 6、开启靶子循环水泵，开启靶子电源，确认控制界面是否有报警现象； 7、参数设定好并且无报警后，开始对PVD腔室抽真空，具体步骤为： 1）开启门锁2、3、4和5（开门锁的条件是两侧腔室压力差小于200pa），开启泵组一机械泵、泵组三机械泵，然后开启泵组一、三的罗茨泵，开启前级阀，对腔室抽前级真空至5Pa以下； 2）开启泵组二干泵，待干泵管道压力降至500Pa左右时开启泵组二罗茨泵，抽干泵管道前级真空至5Pa以下； 3）关闭门阀2、3、4、5，开启分子泵前级阀，然后逐一开启分子泵，分子泵达满转速后，将腔室真空抽值10E-03Pa以下； 8、腔室真空达到10E-03Pa以下后，确认无报警现象，然后点击工艺自动按钮，系统进入工艺自动控制，传动电机开始工作，等待接片。 二、关机规范 1、确认腔室中已经没有芯片，然后点击工艺自动按钮退出工艺自动； 2、点击变频器按钮关闭变频器电源，点击靶子循环水泵关闭水泵； 3、依次关闭泵组一、三的预抽阀、罗茨泵、机械泵； 4、关闭分子泵，待分子泵转速将为0后依次关闭分子泵前级阀、泵组二罗茨泵和干泵； 5、确认各泵电源及各阀门关闭后，退出操作见面，关闭计算机，关闭电控柜电源； 6、关闭电源柜； 7、顺时针关闭靶子循环水总进水管，然后顺时针关闭靶子循环水总回水管； 8、顺时针关闭分子泵冷却循环水总进水管，顺时针关闭其总回水管； 9、顺时针合上压缩空气总进气阀，顺时针合上氩气总进气阀； 10、确认PVD水电气均已断开。 PVD设备操作注意事项 水电气检查 开启分子泵时一定要先检查大管道和腔室内的压强，两边都要小于5Pa 进入系统维护后，程序中的互锁保护全部取消，所以每一步操作都要三思而后行，确定无误后方可操作，如在腔室未破空前绝对不可开启门锁1和门锁6 在正常生产时，需要有一人在电脑前监测，以便遇到异常时及时处理 如果发生玻璃卡片，撞片，叠片等异常时，要退出工艺自动，后手动将玻璃传出，再解除异常 第四部分：点检及保养 日常点检（4h/次）