微陀螺仪原理-国立高雄第一科技大学.PDF

微機電系統導論─微感測器 1 National Kaohsiung First University of Sci. Tech.National Kaohsiung First University of Sci. Tech. 微感測器─補充講義 Microsensors 高雄第一科技大學機械系 Department of Mechanical and Automation Engineering National Kaohsiung First University of Science and Technology Concurrent Engineering Design Lab.Concurrent Engineering Design Lab. NKFUST 微陀螺儀原理 一質塊在某方向產生一個固定 線動量此方向稱作驅動方向， 若有一垂直於驅動方向的旋轉 角速度，柯氏力將會作用在同 時垂直於驅動及旋轉的方向， 此柯氏力的大小與此角速度成 正比． CED 2 國立高雄第一科技大學機械系 余志成 2004 微機電系統導論─微感測器2 NKFUST 微陀螺儀振動系統示意圖 CED 3 NKFUST 微陀螺儀結構 CED 4 國立高雄第一科技大學機械系 余志成 2004 微機電系統導論─微感測器3 NKFUST ( −∆ ) L X X L X X ( −∆ ) c2 ε c1 ε d d CED 5 NKFUST Ｃ.V convert C1−C2 Vx Vs