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XT质谱仪系列XT100英文原版说明书
Extorr Inc.
Instruction Manual
Extorr XT Series RGA
Models XT100(M), XT200(M), XT300(M)
Rev 041122
Copyright © 2004 by Extorr Inc.
Extorr Inc., 307 Columbia Road, New Kensington, PA 15068
TELEPHONE: 1-724-337-3000 FAX: 1-724-337-8322 EMAIL: support@
Extorr Inc.
Table of Contents
1. Safety Information page 4
2. Overview page 5
3. Dimensions page 6
3.2 Dimensions
3.1. Specifications
4. Installation page 9
4.1. Unpack the XT Shipment
4.2. Factors to Consider before Mounting the Probe
4.3. Mount the Probe
4.4. Connect the Command and Control unit to the Probe
4.5. Attach the RS232 Cable
4.6. Install VacuumPlus Software
4.7. Resonating the RF Coil
4.8. Start Pump Down
5. Operation page 12
5.1. General Theory of Operation
5.2. Pirani Readout
5.3. Ion Gauge Readout
5.4. Filament Activation Switch
5.5. Reading Mass Peaks
6. VacuumPlus Software page 14
6.1. Starting Up
6.2. GUI
6.3. Operational Settings
6.4. Communications
6.5. Configurations
6.6. Scan Parameters
6.7. Operating Parameters
6.7.1 Mode
6.7.2 Focus
6.7.3 Electron Energy and Emission Current
6.7.4 Electron Multiplier
6.7.5 AutoZero
6.7.6 Pressure units
6.8. Calibration Parameters
6.8.1 Low Cal and High Cal
6.8.2 Unit Information
6.8.3 Pirani Calibration
6.8.4 Total and Partial Integrating Caps
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