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新型红外Gel一工G膜制备、微结构及力学性能研究I：
闫兰琴。 张维佳· 丁照崇 金 飞 张心强 武美伶 王天民
(北京航空航天大学理学院凝聚态物理与材料物理研究中心，北京100083)
摘 要：本文利用等离子体化学气相沉积的方法(PECVD)在ZnS基底上制备了
组织成分可调(z值可调)的Ge。一。Cx过渡层，其折射率随组分。的不同在2～4
的范围内变化。对薄膜样品进行了X射线衍射(XRD)、X射线光电子谱(XPS)、
机、FY-03E型盐雾试验机等分析测试。系统地研究了薄膜与衬底、膜层之间的附
着力以及薄膜的抗腐蚀性能。研究表明在ZnS基底上镀制红外Gel--xcI膜，薄膜与
衬底结合良好。并具有优良的抗腐蚀性能和红外光谱特性。
关键词：Gel--xQ薄膜；微结构，附着力；抗腐蚀性；PECVD。
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AeronauticsAstronautics，Beijing
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Abstract：Gel--xCx by
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measured
z．The were with photoelectron
sample X—rayDiffraction(XRD)，X—ray
infraredband photometer，
spectroscopy，Ramanspectrum，FTP一3000spectral
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apparatus
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