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Mn掺杂ZnO薄膜的结构及光学性能研究-物理学报
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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! 掺杂#$ 薄膜的结构及光学性能研究
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赵跃智 陈长乐 高国棉 杨晓光 袁 孝 宋宙模
!）（西北工业大学理学院应用物理系，西安 %!%# ）
# ）（空军工程大学理学院，西安 %!’!）
$ ）（华中科技大学激光技术国家重点实验室，武汉 ($%( ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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通过脉冲激光沉积（ ）法在 基片上制备了不同含量的 掺杂 薄膜 射线衍射、射线能谱、原子
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力显微镜与紫外 可见分光光度计测试结果表明：少量的 离子的掺杂并没有改变薄膜的结构，薄膜具有（ ）面
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的择优取向； 法制备的 薄膜的成分与靶材基本一致，实现了薄膜的同组分沉积；薄膜表面比较平坦，起伏
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度小于 ，颗粒尺寸主要集中在 附近；但是 离子的掺杂改变了 薄膜的禁带宽度，随 掺杂含量的
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增加， 薄膜的禁带宽度增加；当薄膜中 含量从 增加到 时，薄膜对紫外强吸收区的光吸收能力也随之
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关键词： ， 薄膜， 掺杂，吸收谱
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光学特性，分析了不同含量的 掺杂 薄膜的
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